小体积振镜是一种微型振镜,具有超小的体积和内置控制器,这种振镜采用压电陶瓷电机,具有高精度和可靠性,同时内置微处理器及PID控制器,无需外加控制器。
小体积振镜广泛应用于激光打标、激光切割、激光焊接等领域,尤其适用于空间有限或需要高精度的应用场景。
小体积振镜的原理是基于微机电系统(MEMS)技术制作的微小可驱动反射镜,这种反射镜的直径通常只有几毫米,具有重量轻、体积小、易于大批量生产、生产成本较低等优点,小体积振镜的镜面可以快速偏转,通过改变激光束的方向来实现瞄准、扫描或动态聚焦等功能。
小体积振镜的驱动原理有多种,如静电驱动、电磁驱动、压电驱动、热电驱动等,在工作过程中,输入一个位置信号,小体积振镜会按照一定电压与角度的转换比例摆动一定角度,整个过程采用闭环反馈控制,由位置传感器、误差放大器、功率放大器、位置区分器、电流积分器等五大控制电路共同作用。
通过调节输入信号,可以控制小体积振镜的偏转角度和偏转速度,从而实现激光束的定向控制,在激光打标、激光切割、激光焊接等领域中,小体积振镜广泛应用于需要高精度、高速度的场合,如电子元件打标、珠宝首饰打标等。