高速扫描振镜也被称为Galvo scanning system,其设计思路源于电流表,在这个系统中,镜片取代了表针,而探头的信号则由计算机控制的直流信号取代,以实现预定的动作。
与转镜式扫描系统相似,高速扫描振镜也采用了一对折返镜,但驱动这套镜片的步进电机被伺服电机所取代。
高速扫描振镜的应用场景相当广泛,主要包括但不限于以下几个方面:
激光成像:高速扫描振镜可以实现非常快速的扫描速度,因此被广泛应用于激光成像领域,如医学成像、地质勘探、矿物分析等,在这些应用中,高速扫描振镜能够精确控制激光束的位置,从而实现高质量的图像采集和处理。
光刻:在半导体制造等领域,高速扫描振镜的高精度扫描能力使其能够实现精细的线条和复杂的图案刻画,从而满足精细加工的需求。
激光打标:高速扫描振镜的扫描速度快,打标效果好,因此被广泛应用于汽车零部件、手机、电脑、电子产品等领域的打标工作,无论是文字、图案还是二维码,都可以实现快速、清晰的打标。
激光显示与打印:高速扫描振镜能够实现二维扫描,用于制作动画、文字、图像等,因此也适用于激光显示和打印领域,通过精确控制激光束的扫描路径和速度,可以实现高质量的图像和视频输出。
激光检测:在激光检测领域,高速扫描振镜可以实现高速数据采集和图像处理,从而提高检测效率和精度。