小体积振镜特别是基于微机电系统(MEMS)技术制作的微小可驱动反射镜,具有一系列显著的特点和应用。
![小体积振镜](uploadfile/image/20240607/20240607164913_1372629613.jpg)
小体积振镜的工作原理主要依赖于电场的效应。通过改变电场的强弱和方向,可以控制振镜的位移和角度,从而实现精确的光束控制。
当电场施加在振镜上时,材料会发生形变,导致镜片的位置和角度发生微小变化。这种变化会改变光束的方向,实现光束的反射或折射。
小体积振镜具有哪些基本特性?
尺寸与重量:小体积振镜的镜面直径通常只有几毫米,重量极轻,体积小巧。
材料:振镜由具有高弹性的金属或陶瓷片制成,以便能够振动。
结构:振镜由一块平行板构成,其中一面镀有反射性材料,称为反射镜。在反射镜后面,有一块平板作为参考,其位置可以通过电场进行调控。