振镜激光扫描的主要优势是高速和精度高,广泛用于激光加工、生命科学和医学诊断等领域,位置传感器集成在电机设计中,以闭环伺服控制提供可预测的线性时不变(LTI)系统。
机械角度可达±20度以上,扫描速率从几Hz到几kHz不等;反射镜较小的低惯性系统通常比重系统具有更快的速度,振镜可单轴使用,也可组成多轴配置,或者配合互补技术(比如共振或多边形扫描仪)实现更复杂的扫描形状。
振镜控制的基础架构可分模拟式、数字式或混合式,轴角度传感器内置于振镜构造中,降低运动质量并提高系统性能,所以高性能位置探测器是基本需求。
现代振镜采用动磁设计提供高扭矩比,对于小型系统,通常用小电机推动相对大的负载,如果负载接近或超过转子惯性可能出现有害的机械共振,这可用陷波滤波器抑制。
放大器的陷波、PID等配置出厂设好,为用户提供稳定可靠的性能。
单轴振镜套件一般包括振镜反射镜、伺服放大器和连接电缆,反射镜镀膜选项包括用于红外和可见光的宽带膜和用于特定单波长或多波长的介质膜。
完备的振镜应用还需要购买各种配件、伺服散热器、振镜安装夹具、信号源和光源等等。
双轴振镜是用于OEM加工和三轴系统的核心构造模块,经过匹配调谐的XY双轴振镜是搭建高性能扫描系统的关键,两个反射镜必须确保精确的光路对准。
另外,双轴振镜扫描头兼容各种激光,通过选配镜头提供最佳光斑、工作距离和视场,提高激光加工速度。