激光振镜是应用在激光行业的扫描振镜,其工作原理是将激光束入射到两反射镜(扫描镜)上,用计算机控制反射镜的反射角度,这两个反射镜可分别沿X、Y轴扫描,从而达到激光束的偏转,是具有一定功率密度的激光聚焦点在达标材料行按所需的要求运动,在材料表面上留下永久的标记。
激光控制系统是激光加工设备的重要组成部分,负责进行决策、执行和驱动,与激光硬件高度配合,组成成套激光加工设备。
随着技术的持续发展,以提升激光加工速度和精度的微加工成为激光加工的一大发展方向。
激光振镜控制系统是通过镜片摆动调整光路,将激光指向目标位置的振镜控制系统,振镜激光具有惯量极小、负载极小、响应速度极快等优点,适用于高速微加工,主要用于标刻、钻孔、3D打印、精密切割。
从精度来看,振镜控制可以达到0.5μm-10μm之间,相对伺服电机精度较高;从速度方便,振镜控制高速扫描速度可达7mm/s。
因此,激光振镜控制系统拼接高速、高精度、微加工等特点在高速标刻、激光钻孔、晶圆切割、FPC板和PCB板切割、激光焊接等方面等能应用。