二维振镜是一种优良的矢量扫描器件,通过驱动器产生的电压信号使悬浮在导电杆上的微小振镜在水平与垂直方向上振动,从而控制光束的反射角度。
二维振镜的工作原理主要基于微电机系统技术。其核心部分包括两个振镜,一个在水平方向振动,另一个在垂直方向振动。
这两个振镜通常由驱动器产生的电压信号所驱动,使得悬浮在导电杆上的微小振镜产生振动。
在水平方向上,振镜进行正弦波振动;而在垂直方向上,振镜则以2倍频率进行正弦波振动。这种振动模式使得振镜能够精确控制光束的反射角度。
具体来说,当电压信号作用于振镜时,振镜的转子会产生偏转,这种偏转是通过电磁力矩与回复力矩之间的平衡来实现的。偏转角度与施加的电流成正比,因此通过调整电流的大小和方向,可以精确地控制振镜的偏转角度,从而实现对光束的精确扫描。
二维振镜通常应用于需要精确控制光束路径和扫描范围的场合,如激光打印、激光雕刻、激光切割、生物医疗等领域,其高精度、高速度和高可靠性的特点使得二维振镜成为这些领域中的重要器件。