二维振镜是一种特殊的摆动电机,通常由两个单轴振动的振镜组成,使用一对正交的光学轴向来控制指向不同方向的激光束的角度。
![二维振镜](uploadfile/image/20240520/20240520172730_1542589415.jpeg)
二维振镜和三维振镜在结构、功能和应用上存在明显的区别。
从结构上看,二维振镜主要由两个单轴振动的振镜组成,即一个水平扫描振镜(X轴振镜)和一个垂直扫描振镜(Y轴振镜)。它通过X-Y轴电机带动反射镜片偏转来实现平面扫描。而三维振镜,又称动态聚焦激光振镜扫描系统,它在二维振镜的基础上增加了移动镜头(Z轴执行电机),这使得三维振镜可以通过移动镜头来调整光束直径的大小,实现在线调焦。
从功能上看,二维振镜主要用于平面扫描,通过控制激光束的方向和位置来实现材料切割、打标、焊接等工艺。然而,由于二维振镜投射到平面时存在离焦误差,因此它通常用于小扫描面积的扫描。而三维振镜则能够满足大幅面扫描场的使用,因为它可以通过调整光束直径的大小来适应不同的扫描面积。
从应用上看,二维振镜因其高速、高精度、高可靠性等优势,被广泛应用于多种光学仪器及设备中,如光路干涉仪、医学成像、激光打标等。而三维振镜由于其独特的结构和功能,主要在需要大幅面扫描的场合中使用,例如大成形面积的SLM设备就多选用三维振镜系统。